博为氦质谱检漏仪维护保养方法及常见故障处理

机械泵维护

检查机械泵油量，如低于标线则添加泵油；如泵油发黑、浑浊则更换泵油。具体操作参见机械泵说明书。

清洗

检漏仪在没有氦进入时，却有一定漏率指示，并且长时间存在。这种情况多由于检漏口、波纹管、密封圈等脏污后吸附了氦，在检漏时再次释放出来造成较大的氦本底。为避免油污、粉尘、杂物进入检漏仪，在检漏口下方装有过滤器，将其拆下用酒精浸泡清洗。检漏口、波纹管用棉布擦拭即可。

常见故障及处理

以下是常见的故障现象、故障原因及处理方法：

不通电：

1.电源线接插不良。

2.保险管熔断。

3.重新接插电源线。

4.更换相同规格保险管。

机械泵声音大，并且排气口冒烟：

1.机械泵处于空抽状态。

2.检查检漏口、波纹管、被检件是否密封良好，重新安装波纹管、被检件。

氦本底高：

1.被检件密封不好，造成检漏口入口压强大，质谱室真空低。

2.被检件中的氦气短时间内难以清除。

3.重新密封被检件。

4.使用调零功能进行检漏。

储存

检漏仪长期不使用时，用盲板将检漏口、机械泵排气口封上，触摸屏用棉布或者硬纸板遮挡，标准漏孔、气袋喷枪、相关配件装入包装盒，存放到阴凉、通风、没有漏雨、火灾等危险的房间。

如想了解更多关于氦质谱检漏仪相关知识，请咨询博为氦检。